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Título : Diseño y modelado de un microsensor de campo magnético resonante con detección piezorresistiva
Autor : Soler Balcázar, Juan Carlos
Palabras clave : Microsensores de campo--Diseño
Sistemas microelectromecánicos
Fuerza de Lorentz
Fecha de publicación : 2012
Resumen : En esta tesis se presenta el diseño y modelado de un microsensor de campo magnético resonante con detección piezorresitiva, basado en tecnología MEMS. Este microsensor usa una estructura de silicio circular de 300 μm de radio interno con soportes de una longitud de 90 μm, ancho de 32 μm y espesor de 5 μm. En la superficie superior de la estructura resonante se localiza un lazo de aluminio por donde circulará una corriente de excitación sinusoidal. Esta estructura es excitada a su primera frecuencia resonante, tipo flexionante, mediante la fuerza de Lorentz. Esta fuerza es causada por la interacción de una corriente sinusoidal, con frecuencia igual a la frecuencia resonante, y una densidad de campo magnético. Esta fuerza de Lorentz provoca una deflexión y esfuerzos en la estructura resonante, lo cual alteran la resistencias iníciales de cuatro piezorresistores longitudinales y transversales conectados en un puente de Wheatstone...
Descripción : Tesis de Maestría presentada al Centro de Investigación en Micro y Nanotecnología de la Universidad Veracruzana. Región Veracruz
URI : http://cdigital.uv.mx/handle/123456789/41311
Aparece en las colecciones: Ciencias en Micro y Nanosistemas

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